Pfeiffer普発磁気浮上タービン分子ポンプHiPace 300-800 M、ATH 500 M
上海伯東ドイツPfeifferリニアモーターカーターボ分子ポンプHiPace 300-800M, ATH 500 M: 300 ~ 800 l/sの抽気域を有する小型リニアモーターカーターボ分子ポンプ・HiPace MとATH 500 Mは5軸磁気軸受を有する.動平衡装置は自動校正を行い、Pfeifferリニアモーターカーターボ分子ポンプ振動やプロセス中に発生する軸受変位を最小限に抑えることができる.低エネルギー消費と極めて低いメンテナンスコストはその極めて高い性価比を確保した。
Pfeifferリニアモーターカーターボ分子ポンプHiPace 300-800M,ATH 500 M製品の利点:
1.リニアモーターカーターボ分子ポンプ任意の角度での取り付け
2.統合コントローラ
3.油抜きのクリーニング
4.高ガス流量
5.低振動及び低磁場干渉
6.リニアモーターカーターボ分子ポンプ動平衡自動補償
7.回転数範囲が広い
Pfeifferリニアモーターカーターボ分子ポンプHiPace 300-800M,ATH 500 M技術パラメータ:
ぶんしポンプモデル |
ぶんしポンプ接続寸法DN |
抽気速度l/s |
あっしゅくひ |
最高起動圧力hPa |
きょくげんあつりょく |
全回転数ガス流量hPal/s |
起動時間 |
じゅうりょう |
|||
くうきいりぐち |
はいきぐち |
ちっそガス |
ヘリウムHe |
水素ガス2 |
ちっそガス |
窒素ガスN2 |
hPa |
窒素ガスN2 |
min |
kg |
|
HiPace 300 M |
100 |
16 |
255 |
215 |
170 |
> 1X1011 |
20 |
< 1X10–7 |
28 |
2 |
13.1 – 17.2 |
ATH 500 M ATH 500 MT |
160 |
25 |
550 |
390 |
190 |
> 2X107 |
2.6 |
< 1X10–8 |
67 |
2 |
17 – 18 |
HiPace 700 M |
160 |
25 |
685 |
600 |
480 |
> 1X101 |
8 |
< 1X10–7 |
13 |
4 |
15.7 – 20.8 |
HiPace 800 M |
200 |
25 |
790 |
625 |
500 |
> 1X101 |
8 |
< 1X10–7 |
13 |
4 |
17.1 – 21.5 |
上海伯東Pfeifferターボ分子ポンプ抽気速度範囲は10〜2700 L/S、回転速度は最高90000 rpm、限界真空は最大1 E−11 mbarであり、小分子ガスに対してより高い圧縮比を有し、実践によりPfeifferターボ分子ポンプ運行時間は100000時間に達することができます!普発分子ポンプ複合軸受を提供するぶんしポンプおよび5軸全磁気浮上ぶんしポンプ二大シリーズは異なる応用を満たし、組み合わせを推薦するPfeifferロータポンプとかんそうポンプ共同使用分子ポンプの典型的な応用を推薦する>>
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